該真空導入器產品采用高品質的焊接波紋管，保證十萬次以上的循環使用，軸向驅動力可達到150N，在保證超高真空密封的同時，通過手動調節手輪，實現高精度的直線驅動，**位置控制，安裝角度自由；根據客戶要求，可以制作各種驅動長度。有波紋管內置型、波紋管外置型和中空型三種結構，客戶根據使用要求選用。
主要參數
適用范圍：
105～5x10-7Pa
真空漏率：
≤1x10-10Pa.m3/s
適用溫度：
-30～300℃
驅動方式：
手動
驅動方向：
直線
安裝狀態：
任意方向
連接方式：
CF法蘭或客戶**
主要零件材料
焊接波紋管
316L
刻度圓柱
304
進給刻度盤
LV12陽極化
?
訂貨型號
接口法蘭
驅動距離S
精度
L
A
B
C
MD x K
LMF-S-CF16-50
CF16
50
0.02/0.01
184
11
34
45
M5x12
LMF-S-CF16-100
CF16
100
0.02/0.01
255
11
34
45
M5x12
LMF-S-CF35-50
CF35
50
0.02/0.01
156
12
70
47
M6x12
LMF-S-CF35-100
CF35
100
0.02/0.01
230
12
70
47
M6x12
LMF-S-CF35-150
CF35
150
0.02/0.01
310
12
70
47
M6x12
?
根據客戶要求，可以制作各種驅動長度
?
訂貨型號
接口法蘭
驅動距離
精度
R/E
A
B
C
D
K
LMF-Z-CF16-50
CF16
50
0.02
83/133
64
195
100
16
20
LMF-Z-CF16-100
CF16
100
0.02
105/205
64
265
100
16
20
LMF-Z-CF35-50
CF35
50
0.02
85/135
101
190
122
35
15
LMF-Z-CF35-100
CF35
100
0.02
105/205
101
260
122
35
15
LMF-Z-CF50-50
CF50
50
0.02
90/140
116
192
151
50
15
LMF-Z-CF50-100
CF50
100
0.02
110/210
116
262
151
50
15
LMF-Z-CF63-50
CF63
50
0.02
101/151
150
218.5
195
63
20
LMF-Z-CF63-100
CF63
100
0.02
121/221
150
289
195
63
20
LMF-Z-CF100-50
CF100
50
0.02
112/162
195
250
256
100
21
LMF-Z-CF100-100
CF100
100
0.02
132/232
195
320
256
100
21
?
根據客戶要求，可以制作各種接口及驅動長度
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