z軸中空真空直線導入器是超高真空環境下直線傳輸樣品的重要裝置;采用高品質的焊接波紋管進行軸向密封;一端法蘭與真空腔體連接,另一端通過中空孔徑快速裝入樣品或更換樣品;在保證超高真空密封的同時,通過手動調節手輪,實現高精度的直線驅動;也可和步進電機組合,實現電控操作性能;本產品的主要特點有:超高真空應用,超低放氣率;傳動平穩;可根據客戶的具體規格和應用來定制不同驅動長度、不同驅動方式和驅動精度。
主要參數
適用范圍:
105~1x10-7Pa
真空漏率:
≤1x10-9Pa.m3/s
適用溫度:
-30℃~150℃
驅動方式:
手動或電機驅動
驅動方向:
直線
安裝狀態:
任意方向
連接方式:
CF法蘭或客戶**
主要材料:
SUS304