高溫型真空直線導入器

高溫型真空直線導入器? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ??

High temperature vacuum linear actuators

高溫型真空直線導入器是在高溫和超高真空環境下直線傳輸樣品的重要裝置；該真空直線導入器的真空密封采用高品質的焊接波紋管進行軸向密封，在保證超高真空密封的同時，通過手動調節手輪，實現高精度的直線驅動，也可和步進電機組合，實現電控操作性能，具有控制精度高、傳動平穩、恒力矩等特點；本產品采用精密絲桿實現無間隙傳動，重復定位精度高，傳動精度*可達到0.01mm；可根據客戶的具體規格和應用來定制不同驅動長度、不同驅動方式和驅動精度。

主要參數

適用范圍：

105～1x10-7Pa

真空漏率：

≤1x10-9Pa.m3/s

適用溫度：

-30℃～200℃

驅動方式：

手動或電機驅動

驅動方向：

直線

安裝狀態：

任意方向

連接方式：

CF法蘭或客戶**

主要材料:

SUS304

訂貨型號

接口法蘭

驅動距離S

A

B

C

L

LMF-HT-CF16-50-S

CF16

50

8

34

46

215

LMF-HT-CF16-100-S

CF16

100

8

34

46

295

LMF-HT-CF35-50-S

CF35

150

12

70

46

175.5

LMF-HT-CF35-100-S

CF35

150

12

70

46

255.5