一.主要特點：功能簡介：
1 線性馬達驅動，線性光柵尺定位
a. 控制系統免保養；
b. 運行無振動，保障測試精度；
c. 運行速度快；
d. X、Y軸定位精度高，達±5um@3σ
二， 測量精度高
a. 高度分辨率為0.4 微米；
b. 高度測量精度為±1微米；
c. 體積重復精度為±1%@3σ；
d. 體積GR&R為3.63%；
e. 掃描間距為1微米；
f. 小可測量300 x300 μm的錫膏；
g. 采用2D+3D混合測量方式 2D光源確定錫膏平面，3D計算體積；
可以測量**35微米的物體，比如：綠油、絲印、焊盤的高度和體積
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